光刻工具正接近物🛥🇮🇹理极限，极紫外（2️⃣EUV）光🍶👨👩👧👧。
[图2：L🚇🇹🇫ogicFo🤾♂️ldin💋🇧🇿g的原理示意🅰图] 为了充分实🦶🌴。
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光刻工具正接近物🛥🇮🇹理极限，极紫外（2️⃣EUV）光🍶👨👩👧👧。
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